試作したUVセンサーの外観
透明薄膜ヒーター動作時のサーモグラフィ―画像

透明な酸化物半導体に興味を持ち、その作製と応用に関する研究に取り組んでいます。
最近の主な研究テーマは次の２つです。
（１）UV-Cのみを検知するUVセンサーの実現に向けた挑戦
透明な酸化亜鉛(ZnO)を主材料としたUV-Cセンサーの実現を目指しています。例えば，殺菌用ランプ／LED用光センサー，火炎センサー，ソーラーブラインド光無線通信用受光デバイスとしての応用が期待できます。
（２）透明な薄膜ヒーターの作製と応用
透明導電膜としての酸化亜鉛(ZnO)系薄膜を用い，抵抗加熱型の透明薄膜ヒーターを試作しています。医療分野などでは加熱デバイスの透明性が重要になる場面もあることから，新規応用先を開拓中です。

教授 三浦 健太 MIURA kenta
研究キーワード 酸化物半導体，UVセンサー，透明薄膜ヒーター，薄膜，スパッタリング
研究分野 電気電子工学応用物理物性応用物理工学
主な研究テーマ
  1. UV-Cのみを検知するUVセンサーに関する研究
  2.  透明な薄膜ヒーターの作製と医療応用に向けた研究
研究概要

透明な酸化物半導体に興味を持ち、その作製と応用に関する研究に取り組んでいる。

  1. 透明な酸化亜鉛(ZnO)を主材料としたUV-Cセンサーの実現を目指している。例えば，殺菌用ランプ／LED用光センサー，火炎センサー，ソーラーブラインド光無線通信用受光デバイスとしての応用が期待できる。
  2. 透明導電膜としての酸化亜鉛(ZnO)系薄膜を用い，抵抗加熱型の透明薄膜ヒーターを試作している。医療分野などでは加熱デバイスの透明性が重要になる場面もあることから，新規応用先を開拓中である。
提供できる技術 ・応用分野

スパッタリング法による酸化物半導体薄膜の成膜技術
主要な所属学会

電子情報通信学会，応用物理学会，電気学会，照明学会，日本セラミックス協会
論文
  • Fabrication of periodic microstructures for improving light-extraction efficiencies of light-emitting ZnO/Si devices, Results in Physics 7 (2017) 2965.
  • 共スパッタ法を用いたAu添加Ta2O5薄膜の作製とその光学特性の評価，電子情報通信学会和文論文誌C, J104-C (2021) 98.
  • Near-infrared light emission from aluminum-doped tantalum-oxide thin films prepared using a simple co-sputtering method, Results in Physics 57 (2024) 107389.
受賞歴
  • 第19回横山科学技術賞（2015年）
  • 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ活動功労表彰（2022年）
最終更新日：